TONIC
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發布時間:2021-6-9 9:07:02
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柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 柵尺較大長度 | 讀數頭兼容性 |
RGSZ/RGSN![]() | ±15 μm/m | 20 μm | 使用端壓塊固定到基體,保持與基體相同的熱膨脹 | 如需超過50 m的長度,請聯系雷尼紹 | TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 柵尺較大長度 | 讀數頭兼容性 |
搭配可選FASTRACK?的RTLC20![]() | ±5 μm/m | 20 μm | ~10.6 μm/m/°C | 10 m | TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 柵尺較大長度 | 讀數頭兼容性 |
RELM/RELE![]() | 1 m內為±1 μm,以后±1 μm/m | 20 μm | 0.75 ±0.35 μm/m/°C | 1.5 m | TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 柵尺較大長度 | 讀數頭兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC![]() | 1 m內為±1.5 μm,2 m內為±2.25 μm,3 m內為±3 μm,5 m內為±4 μm | 20 μm | ~10.8 μm/m/°C | 5 m | TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭兼容性 |
RESM/REST/RESD![]() | ±3.97至±0.38角秒 | 20 μm | 17 μm/m/°C | 52至550 mm | TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 | 安裝精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭兼容性 |
REXM/REXT![]() | (≥100 mm直徑)±1角秒 (75 mm直徑)±1.5角秒 (≤57 mm直徑)±2角秒 | 20 μm | 17 μm/m/°C | 52至417 mm | TONiC、TONiC UHV |