三坐標測量機的附件部分

1.三坐標測量機平衡部件，首要用于Z軸框架結構。其功用是平衡Z軸的重量，使Z軸上下移動而不受偏置干擾，從而使Z方向的測力在檢測過程中保持穩定。假如更換了安裝在Z軸上的探針，應從頭調整平衡力的巨細，以完成新的平衡。Z軸平衡設備有重量、彈簧或彈簧、氣缸活塞桿等類型。

2.驅動設備是三坐標測量機的重要運動組織，可完成電動和程控伺服運動功用。主動測量儀上常用的驅動設備包含螺帽、滾輪、鋼絲、齒帶、齒輪齒條、光軸滾輪等，由伺服電機驅動。直線電機驅動器正在上升。
3.轉臺及附件轉臺是主動測量儀的重要組成部分，它為三坐標測量機增加了旋轉運動的自由度，便于測量某些類型的零件。轉臺包含分度臺、單軸轉臺、通用轉臺（雙軸或三軸）和CNC轉臺。根據需要，主動測量儀有許多附件。一般指參考尺、方尺、步距規、規范球體（或立方體）、千分尺、自檢精度檢測模板等。